Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
￭ 定位精度高達（直線誤差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）
￭ 穩定且優良的軸系提供了較好的平滑運動，經算法優化可以獲得較小的動態跟隨誤差
￭ 線性表現較好的光柵反饋系統，可以獲得較好的point-to-point位置精度以及亞微米級的重複性
￭ 標準的模塊化設計，靈活的單軸/多軸解決方案
￭ 整體密封結構，輕量化、高剛性結構設計，低成本，高性能

 
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