超聲波高精度噴塗設備 - 節能光刻膠的超聲波霧化噴塗制備

蘇州索尼克超聲波自主研製的超聲波高精度噴塗設備JY-W50能夠實現光刻膠的定向噴塗，節約原料可節約90%的光刻膠原料，從而避免了環境污染和後續處理的步驟。目前，是光刻膠噴塗最為先進的工藝。

針對光刻膠現下塗覆工藝旋轉塗膠工藝的浪費和環境污染問題，蘇州索尼克超聲波在自行開發的120KHZ的超聲波霧化噴塗設備的基礎上，對光刻膠噴塗工藝進行改進。超聲波霧化噴塗設備電源功耗（10W）低，產生的霧化液滴平均粒徑小、均勻性好，液滴直接噴塗在晶圓表面上，光刻膠利用率高，因此被認為是一種綠色的光刻膠薄膜制備工藝。普通超聲波霧化噴塗設備表面的霧化液滴初始速度小，易於受到週圍空氣的擾動，不利於獲得高質量的光刻膠薄膜，難以實現理想的噴塗效果。為此，蘇州索尼克超聲波在超聲波霧化噴塗設備中加入載氣模塊用於增加霧化液滴的動力，控制霧化噴塗方向和範圍，實現光刻膠薄膜的定向噴塗于基底的晶圓表面。