玻璃晶圓:
本公司擁有資深級的技術人員,能為客戶提供厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圓(Glass wafer),應用於CMOS、CCD傳感器、集成電路或微機械元件封裝(MEMS)、通信與數據處理、光學、電子產品、家電產品、軍工、科研等高科技產品。
玻璃晶圓加技術參數:
a)材料:康寧E-XG、PYREX7740、石英玻璃、BOROFLOAT、B270、D263T、AF32、BK-7
b)標準厚度:0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm(厚度公差±0.02mm)
c)標準尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定製)
d)外觀:60/40;40/20;20/10
e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm
f)平行度<0.01mm
康寧E-XG玻璃晶圓基本性能:
技術參數:
Density/密度(g/cc)
2.3
Thermal Expansion/膨脹係數
3.0
Transmittance/透光率
>90%
softening point/軟化點
971℃
TTV/平整度
<0.005
Bow/翹曲度
<0.01
Warp/彎曲度
<0.01
Vickers Modulus/維氏硬度
640
產品特點:
●特種玻璃材料應用
●拋光領域的經驗,獨具一格的表面質量
●能夠用於封裝隨時可用基片的潔淨室
●具有出色公差的結構晶片
●符合所有要求和工業標準(例如SEMI)的客戶指定產品
●符合ISO 9001:2000所有要求的一體化生產步驟
典型應用:
●微光學
● MEMS(壓力傳感器、加速計...)
● 晶片級封裝(圖像傳感器封裝…)
●生物工程(微觀流體、DNA分析…)
●以及許多其它客戶指定應用
g)各稜邊倒鈍C0.05~0.2mm
h)裂口<0.2mm,不可內裂
i)表面清潔,不得有印記和污點, 1000級超淨室100級超淨袋或單片盒包裝。
聯繫電話:13714849910
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