等離子廢氣處理設備是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是一全新的技術創新領域。是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破坏廢氣分子結構，達到淨化目的。適用範圍廣，淨化效率高，尤其適用於其它方法難以處理的多組分惡臭氣體

  低溫等離子空氣淨化器中等離子體是一種聚集態物質，它有別於常識中的“固”、“液”、“氣”三態物質，是物質的第四態，其所擁有的高能電子同空氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，並在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

  在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一系列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。