低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術是在原電暈放電基礎上由高頻高壓電場通過尖端放電產生的新一代低溫等離子體技術具有能量高、電子發射密度高等特點，其淨化原理如下：
　　1、在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大於其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。
　　2、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO、O等活性自由基和氧化性極強的O，能與有害氣體分子發生化學反應生成無害產物。
　　3、物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞並粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。
　　4、生物作用表現在具有消毒殺菌之功效。機理為：等等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大於其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破坏而導致微生物死亡。
　　5、在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列複雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應轉化為CO2和H2 O等物質，從而達到淨化廢氣的目的。
　　低溫等離子空氣淨化器的選購：
　　1、過濾技術
　　顆粒污染物過濾技術主要是HEPA濾網，HEPA濾網質量參差不齊，一些小品牌的濾網雖然具有較高的過濾效率，但是阻力大，能效比比較低，而且很容易堵塞，壽命較短，一般建議選用帶有靜電駐極的深度容塵HEPA濾網，靜電駐極技術使得無紡布纖維帶有正負電，有效捕捉空氣中的顆粒物，很多HEPA濾網都號稱具有靜電駐極技術，但是由於技術原因很多濾網的駐極電荷在較短的時間內會衰減的很快，導致過濾效率降低。
　　可以選擇市面上的如3M靜電駐極的HEPA濾網，與3M口罩採用同樣靜電駐極技術，保証駐極效率不衰減。
　　2、關注適用面積或顆粒物潔淨空氣量（CADR）
　　空氣淨化器淨化能力的強弱，主要是由適用面積和顆粒物潔淨空氣量（CADR：提供的潔淨空氣的速率）決定，兩者之間的關係為：適用面積=CADR×0.1。對其它污染物的淨化能力，應和適用面積相結合。
　　3、能效比和能效等級
　　空氣淨化器通常是長期連續使用的，能效比作為衡量空氣淨化器淨化能力與電力消耗的重要指標，值得大家關注。能效比和能效等級越高，代表空氣淨化器越節能，使用成本越低。
　　4、臭氧釋放量
　　臭氧作為強氧化劑具有一定的淨化能力，但對人體是有傷害的。國家對空氣淨化器臭氧釋放量有強制性安全要求，限定在≤5×10-6%（臭氧具有魚腥味）。