羅茨真空泵優點：大抽速，設有旁通溢流閥可在大氣壓力下啟動，縮短抽氣時間。轉子之間、轉子與泵腔之間有間隙，泵內運動件無摩擦，不必潤滑，泵腔內無油。轉子形狀對稱動平衡性能良好，運轉平穩，選擇高精度齒輪轉動，運轉時噪音低，結構緊湊，佔地面積小，泵腔內氣體垂直流動，有利於被抽氣體灰塵或冷凝物的排除，運轉維護費用低！