歐洲原裝進口RTP系列快速退火爐常被應用在各類半導體處理工藝領域，尤其是針對4~8英吋以內的單晶圓處理，JetFirst可以在客戶現場輕鬆升級，100mm輕鬆升級到可以處理200毫米晶圓的能力，具有交叉燈技術，可在晶圓上實現更好的溫度均勻性。

應用範圍：

離子注入/接觸退火；

快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；

SiAu，SiAl，SiMo等煉製合金；

低K電介質；

后植入退火處理；

銅漿燒制；

電阻漿料燒制；

太陽能電池晶片鍵合工藝；

LTO鈦酸鋰材料制備；

晶體化，緻密化；

不鏽鋼冷腔室壁優點

工藝重複性高；

高冷卻速率，低記憶效應；

高溫計和熱電偶控制；

快速數字PID溫度控制器；

超清潔無污染的環境；

無金屬和無交叉污染