光學光刻平台配套,芯片檢測台,12寸檢測台

光學光刻平台配套,芯片檢測台,12寸檢測台
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類別:工業設備 / 其他工業設備
標籤︰光學光刻平台配套 , 芯片檢測台 , 12寸檢測台
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產品描述

提供高精度光學光刻旋轉平台即氣浮轉台,一般採用公司標準系列氣浮轉台,詳見本網站氣浮轉台頁面,或以此為基礎改制。光學行業已經應用的場合有:偏測儀、定心車、大鏡面研拋加工(機器人配合)、大鏡面掃描測量;芯片半導體行業應用有:芯片測量、硅片拋光、硅片減薄、光刻、LDI光刻、手機生產鏈檢測。

提供高精度光學光刻氣浮位移平台:一般採用定製形式,光學行業已經應用的場合有:偏測儀Z軸台、定心車、CCD拼接儀、大鏡面研拋加工、大鏡面測量;芯片半導體行業應用有:芯片製程中的測量和檢測、LED製程中的檢測、光刻、LDI光刻、手機生產鏈檢測。

氣浮位移平台產品現狀:目前有幾種基本形式。一種是採用氣足組合的,類似三坐標測量機位移平台結構。優點是成本低、搭建相對容易;缺點是剛度低只適合低速低頻、結構複雜零件多、調整部件太多不穩定、精度相對較低。另一種是以美國areotech為代表的半導體行業專用氣浮位移平台,優點是採用一體化的設計,精度高、可高速高頻;缺點是對環境要求太高,尤其是對溫度環境要求太高;其實對環境的過分要求,也會影響實際可以達到的精度,這類平台的精度指標都指的是在幾乎理想環境下的指標。

天津中精微/北京航星聯合的氣浮位移平台,克服了目前各種結構形式的缺點,是目前國內國外高精度氣浮位移平台首選:

1,在設計上消除了熱膨脹係數的影響,溫度適用性非常強

2,產品採用整體設計,精度高沒有調整環節。

3,充分發掘潛力,最大程度提高氣膜面積,承載往往超出數倍,剛度極好。適合高速高頻運動。

提供高精度光學光刻氣浮位移平台快速定製服務

以下高精度光學光刻氣浮位移平台可以直接採用

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會員信息

天津中精微仪器设备有限公司
國家/地區︰天津市宝坻区
經營性質︰生產商
聯繫電話︰18630891428
聯繫人︰張先生 (經理)
最後上線︰2020/09/01