明電舍(MEIDENSHA)真空電容器 明電舍MEIDEN可變真空電容器 明電舍MEIDEN固定真空電容器

   

明電舍通過40年對真空斷路器的開發製造，積蓄了該領域的豐富技術經驗，成功開發製造出高性能,高信賴的真空電容器。真空機器的製造，通常有兩種方式1）由真空泵不停排氣方式,2)製造中的真空封閉方式。本公司的真空電容器，採用了真空封閉方式進行製造，並且採用了長時間保持真空狀態的構造。其產品用於：液晶屏面板製造裝置領域，太陽能電池板製造領域，醫療?測量機器領域，半導體製造裝置領域，廣播電視播放領域，科學研究領域等官方應用於阻抗箱，匹配箱 阻抗匹配RF系統 matching box上使用

 

真空電容器MEIVAC的特征是

高耐電壓 真空的耐電壓高，易於實現小型化；

低損失 可以適用於高RF頻率；

大電流通電 無整流子結構形式，適合大電流；

高信賴性 具有自我恢復性，可以承受瞬間過電壓；

 

SCV-514M  5KV-1400PF

SCV-152.5

SCV-151

SCV-204

SVC-514M

SCV-520M 

SCV-205G

SCV-155M

SCF-200.5C

SCF-53Z

SCF-201C

SCF-152Z

BDS5-3040

SCF-151Z

SCV-7.55

SCF-151.5Z

SCV-520M

SCF-55Z

SCV-514M

KIU-KR DC110V 14VA

NTG-81 0.2-1.0A 220V 50HZ

KI0-LGR 3A DC110V 0.5-2.0A

KI0-C6R DC110V 5A 50HZ 18VA

NTG-91 0.1-1.0A 220V 50HZ

SCV-152.5 

SCV-250.8D

SCV-202D

SCV-104G

SCV-510M

SCV-1014G

SCV-151H55UW

SCV415H65UW

SCV-55FH55UW

SCV-85H55UW-NP

SCV-515G

SCV-152.5GT

SCV-152.5H55UW-C

SCV-125H65UW-C

SCV-415H65UW-C

SCV-85H55UW-C

SCV-510H55UW-C

SCV-415H55UW-C

SCF-200.5G

SCF-150.75Z

SCF-150.5Z

SCF-153.5H52WR

 

規格

形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M

高峰試驗電壓 [kVp] 15 5 5

靜電容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400

RF動作電壓 [kVp] 9 3 3

直線可變性 (pF/N) 42±4

(65pF 以上) 88±6

(80pF 以上) 115±8

(150pF 以上)

轉速（回） 12±1 12±1 12±1

最大容許電流 [Arms]

(at 13.56MHz) 100 100 100

迴轉轉矩（N?cm）

(kgf?cm) 24.5

2.5 24.5

2.5 24.5

2.5

重量（kg）

尺寸（長度×直徑） (mm)

1.3

140×φ73 1.35

140×φ73 1.4

140×φ73

 

真空電容器 MEIVAC

MEIVAC真空電容器系列，是基於明電舍的真空技術而開發的一種真空電容器。

真空電容器有以下用途

1 作為半導體薄膜製造設備的阻抗整合器

2 通信器材的發報線路，同調迴路

3 誘電加熱設備的共振迴路

4 各種高頻率電源的電壓增幅迴路

近年來，由於半導體產業的發展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設備等半導體薄膜製造設備阻抗

整合應用領域。

 

真空可變電容器

真空可變電容器是通過移動真空容器內的電極而實現靜電容量的變化的電容器。

除了了裝置115MM標準的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風箱構造以及增強材質的大電

流低扭矩型（H系列）。

 

標準型特點 

1 壽命長

  採用高強度的不鏽鋼風箱，實現可變範圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環。同時通過高強度特殊螺釘

構造，在可變範圍二分之一的情況下實現總迴轉數1000萬以上的長壽命。

2微型化

  陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現。

  統一設為全長140MM（裝置標準115MM），容易實現機器安裝時的可更換性。 

 

強電流低扭矩型特點 

    強電流通電

    風扇採用銅合金新材料，可以實現強電流通電。（強電流規格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、

160Arms)

    低扭矩

    H系列內部構造得到改良，小於18N.cm的低扭矩使得驅動馬達的微型化得以實現。

    長壽命

    採用高強度不鏽鋼風箱，通過可變範圍二分之一以下的風箱壽命100萬迴轉，以及高強度特殊螺釘構造，

能夠實現可變範圍二分之一的總迴轉達到1500萬以上的超長壽命。

 

真空固定電容器

 

真空固定電容器的誘導體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗係數。從而使電容器即

實現了微型化，又能耐高壓和承受強大電流。

特點

  耐高壓

  由於絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓迴路中也安然無恙。

  低損耗

  真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現在構成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導航用陶瓷

。

  微型化

  通過採用耐高壓的特殊電極實現微型化。

型號 峰值試驗電壓 RF動作電壓 靜電容量 最大許可容量電容 迴轉行程 迴轉數 尺寸

Type description Peak test Peak working Capacitance Max. RF current Max.torque Turns Dimensions

　 voltage voltage (Min.-Max.) (13.56MHz) 　 　 (Length×Diameter)

　 (50/60Hz) (13.56MHz) 　 空冷/Air cooled 　 　 　

SCV-55 5kVp 3kVp 30-500pF 100Arms 24.5N?cm 12迴轉 L140×φ60mm

SCV-7.55 7.5kVp 4.5kVp 30-500pF

SCV-151 15kVp 9kVp 10-100pF

SCV-152 12-200pF

SCV-152.5 30-250pF

SCV-510M 5kVp 3kVp 50-1000pF L140×φ73mm

SCV-514M 90-1400pF

SCV-155M 15kVp 9kVp 50-500pF

SCV-520M 5kVp 3kVp 85-2000pF L140×φ89mm

SCV-1010 10kVp 6kVp 80-1000pF

SCV-204 20kVp 12kVp 80-450pF

SCV-155G 15kVp 9kVp 25-500pF 90Arms 24.5N?cm 12迴轉 L140×φ62mm

SCV-251G 25kVp 15kVp 10-100pF

SCV-252G 12-200pF

SCV-252.5G 25-250pF

SCV-1010G 10kVp 6kVp 50-1000pF L140×φ73mm

SCV-1014G 90-1400pF

SCV-205G 20kVp 12kVp 50-500pF

SCV-1020G 10kVp 6kVp 85-2000pF L140×φ89mm

SCV-1510G 15kVp 9kVp 80-1000pF

SCV-250.3G 25kVp 15kVp 6-30pF 27Arms 19.6N?cm 5.5迴轉 L100×φ60mm

SCV-250.8G 10-80pF 72Arms

SCV-300.2G 30kVp 18kVp 6-20pF 21Arms

SCV-104G 10kVp 6kVp 60-450pF 90Arms L100×φ63mm

SCV-201.7G 20kVp 12kVp 45-170pF

SCV-7.55H65 7.5kVp 4.5kVp 20-500pF 110Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ65mm

SCV-151H65 15kVp 9kVp 20-100pF

SCV-152H65 20-200pF

SCV-152.5H65 20-250pF

SCV-510H82 5kVp 3kVp 25-1000pF 130Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ82mm

SCV-105H82 10kVp 6kVp 25-500pF

SCV-154H82 15kVp 9kVp 25-400pF

SCV-202H82 20kVp 12kVp 25-200pF

SCV-202.2H84 20kVp 12kVp 15-220pF 130Arms 18N?cm 10.5迴轉 L125×φ84mm

SCV-250.8H84 25kVp 15kVp 12-80pF

SCV-514H94 5kVp 3kVp 30-1400pF 150Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ94mm

SCV-107H94 10kVp 6kVp 30-700pF

SCV-155H94 15kVp 9kVp 30-500pF

SCV-202.5H94 20kVp 12kVp 30-250pF

SCV-520H110 5kVp 3kVp 35-2000pF 160Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ110mm

SCV-1010H110 10kVp 6kVp 35-1000pF

SCV-205H110 20kVp 12kVp 35-500pF

SCV-315H65G 3kVp 1.8kVp 20-1500pF 100Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ65mm

SCV-105H65G 10kVp 6kVp 20-500pF

SCV-201H65G 20kVp 12kVp 20-100pF

SCV-202H65G 20-200pF

SCV-202.5H65G 20-250pF

SCV-1010H82G 10kVp 6kVp 25-1000pF 120Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ82mm

SCV-155H82G 15kVp 9kVp 25-500pF

SCV-204H82G 20kVp 12kVp 25-400pF

SCV-252H82G 25kVp 15kVp 25-200pF

SCV-300.2H84G 30kVp 18kVp 10-20pF 120Arms 18N?cm 10.5迴轉 L125×φ84mm

SCV-1014H94G 10kVp 6kVp 30-1400pF 140Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ94mm

SCV-157H94G 15kVp 9kVp 30-700pF

SCV-205H94G 20kVp 12kVp 30-500pF

SCV-252.5H94G 25kVp 15kVp 30-250pF

SCV-1020H110G 10kVp 6kVp 35-2000pF 150Arms 18N?cm 14迴轉 L154×φ1

SCV-1510H110G 15kVp 9kVp 35-1000pF

SCV-255H110G 25kVp 15kVp 35-500pF

 

型號列舉

MEIDENSHA SCV-150.6HA55UW-C

MEIDENSHA SCV-150.75HA55UW-C

MEIDENSHA SCV-200.5H55UW-C

MEIDENSHA SCV-151H55UW-C

MEIDENSHA SCV-201H55UW-C

MEIDENSHA SCV-151.5FH55UW-C

MEIDENSHA SCV-152.5H55UW-※2

MEIDENSHA SCV-83.5FH55UW-C

MEIDENSHA SCV-55FH55UW-C

MEIDENSHA SCV-85H55UW-C 

MEIDENSHA SCV-310H55UW-C※2 

MEIDENSHA SCV-510H55UW-C

MEIDENSHA SCV-415H55UW-C

MEIDENSHA SCV-125H65UW-C※2※3

MEIDENSHA SCV-155H65UW-C

MEIDENSHA SCV-810H65UW-C

MEIDENSHA SCV-1010H65UW-C

MEIDENSHA SCV-415H65UW-C※2※3

MEIDENSHA SCV-515H65UW-C

MEIDENSHA VP110 

MEIDENSHA VP150　 

MEIDENSHA UW70 

MEIDENSHA SCV-320H65UW-C

MEIDENSHA SCV-715H70UW-C

MEIDENSHA FS36S FS36 

MEIDENSHA FS43 

MEIDENSHA FC52 

MEIDENSHA FC52A FC62 

MEIDENSHA FH48C FH65C 

MEIDENSHA FH52WR 

MEIDENSHA FHA52WR 

MEIDENSHA VP94L 

MEIDENSHA SCV-251P94L

MEIDENSHA SCV-202.2P94L

MEIDENSHA SCV-153.5P94L

MEIDENSHA SCV-350.3P110

MEIDENSHA SCV-351P110

MEIDENSHA SCV-201.5P110C

MEIDENSHA SCV-251.5P110C

MEIDENSHA VP110 

MEIDENSHA SCV-302P110

MEIDENSHA SCV-202.5P110C

MEIDENSHA SCV-252.5P110C

MEIDENSHA SCV-253.5P110

MEIDENSHA SCV-205P110

MEIDENSHA VP65 

MEIDENSHA SCV-201P65

MEIDENSHA SCV-152P65C

MEIDENSHA SCV-202P65

MEIDENSHA SCV-152.5P65

MEIDENSHA SCV-202.5P65

MEIDENSHA SCV-104P65FW

MEIDENSHA SCV-124H65FW

MEIDENSHA SCV-7.55P65FW

MEIDENSHA SCV-105P65FW

MEIDENSHA SCV-125P65DW

MEIDENSHA SCV-255P110

MEIDENSHA SCV-158P110FW 15 

MEIDENSHA SCV-1510P110W 40 

MEIDENSHA SCV-1051P110W 40 

MEIDENSHA SCV-520P110W 40 

MEIDENSHA SCV-820P110W 40 

MEIDENSHA SCV-325P110FW 15 

MEIDENSHA SCV-340P110W 45 

MEIDENSHA VP82 

MEIDENSHA SCV-155P65DW

MEIDENSHA SCV-310P65FW

MEIDENSHA SCV-410P65FW

MEIDENSHA SCV-510P65W

MEIDENSHA SCV-810P65W

MEIDENSHA SCV-315P65DW

MEIDENSHA SCV-415P65DW

MEIDENSHA SCV-202P82

MEIDENSHA SCV-155P82W

MEIDENSHA SCV-1010P82W

MEIDENSHA SCV-515P82W

MEIDENSHA SCV-520P82W

MEIDENSHA SCV-200.5P82L

MEIDENSHA SCV-250.8P82L

MEIDENSHA SCV-201P82L

MEIDENSHA SCV-251P82L

MEIDENSHA SCV-201.5P82L

MEIDENSHA SCV-202P82L

MEIDENSHA SCV-202.2P82L

MEIDENSHA SCV-103.5P82LW

MEIDENSHA SCV-84P82LW

MEIDENSHA VP150 

MEIDENSHA SCV-405P150

MEIDENSHA SCV-1525P150W

MEIDENSHA SCV-560P150W

MEIDENSHA SCV-202.5P94 25 

MEIDENSHA "SCV-155P94

SCV-515P94 ""25"

MEIDENSHA SCV-520P94W 35 

MEIDENSHA SCV-523P94W 45 

MEIDENSHA SCV-150.5

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-152

MEIDENSHA SCV-155G

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA type2 

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCV-55

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-205G

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-1010G

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-1014G

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-1010

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCV-201.7G

MEIDENSHA SCV-104G

MEIDENSHA SCV-300.2G

MEIDENSHA SCV-250.3G

MEIDENSHA SCV-250.8G

MEIDENSHA SCV-151GT

MEIDENSHA SCV-152.5GT

MEIDENSHA SCV-155GT

MEIDENSHA SCV-510GT

MEIDENSHA SCV-515GT

MEIDENSHA SCV-150.75GTB

MEIDENSHA SCV-53GTB

MEIDENSHA SCF-300.25H48C

MEIDENSHA SCF-300.5H48C

MEIDENSHA SCF-300.75H48C

MEIDENSHA SCF-301H48C

MEIDENSHA SCF-351H48C

MEIDENSHA SCF-251.25H48C

MEIDENSHA SCF-251.5H48C

MEIDENSHA FHA52 

MEIDENSHA SCV-151HA52WR

MEIDENSHA SCV-151.5HA52WR

MEIDENSHA SCV-152HA52WR

MEIDENSHA SCV-153HA52WR

MEIDENSHA SCV-125HA52WR

MEIDENSHA SCV-510HA52WR

MEIDENSHA SCF-251.75H48C

MEIDENSHA SCF-252H48C

MEIDENSHA SCF-151H52WR

MEIDENSHA SCF-201H52WR 

MEIDENSHA SCF-151.5H52WR 

MEIDENSHA SCF-152H52WR

MEIDENSHA SCF-202H52WR

MEIDENSHA SCF-152.1H52WR 

MEIDENSHA SCF-152.5H52WR

MEIDENSHA SCF-153H52WR

MEIDENSHA SCF-153.5H52WR

MEIDENSHA SCF-153.7H52WR

MEIDENSHA SCF-124H52WR 

MEIDENSHA FH52 

MEIDENSHA SCF-124.5H52WR

MEIDENSHA SCF-125H52WR

MEIDENSHA SCF-105.5H52WR

MEIDENSHA SCF-106H52WR

MEIDENSHA SCF-106.5H52WR

MEIDENSHA SCF-107H52WR

MEIDENSHA SCF-56H52WR

MEIDENSHA SCF-107.5H52WR

MEIDENSHA SCF-510H52WR

MEIDENSHA SCF-810H52WR

MEIDENSHA SCF-512.5H52WR 

MEIDENSHA SCF-315H52WR

MEIDENSHA SCF-515H52WR

MEIDENSHA SCF-317.5H52WR

MEIDENSHA SCF-320H52WR

MEIDENSHA FH65C 

MEIDENSHA SCF-350.5H65C

MEIDENSHA SCF-351H65C

MEIDENSHA SCF-351.5H65C

MEIDENSHA SCF-351.75H65C

MEIDENSHA SCF-352H65C

MEIDENSHA SCF-352.5H65C

MEIDENSHA FC52 

MEIDENSHA SCF-150.5C

MEIDENSHA SCF-151C

MEIDENSHA SCF-151.5C

MEIDENSHA SCF-152C

MEIDENSHA SCF-150.5CA

MEIDENSHA FS36S 

MEIDENSHA SCF-51S

MEIDENSHA SCF-51.1S

MEIDENSHA SCF-51.2S

MEIDENSHA "SCF-51.3S

MEIDENSHA SCF-51.4S

MEIDENSHA SCF-150.8CA

MEIDENSHA SCF-150.9CA

MEIDENSHA SCF-51.5S 

MEIDENSHA SCF-52S 

MEIDENSHA FC52A 

MEIDENSHA FC62 

MEIDENSHA SCF-151CA

MEIDENSHA SCF-151.2CA

MEIDENSHA SCF-151.5CA

MEIDENSHA SCF-151.8CA

MEIDENSHA SCF-152.1CA

MEIDENSHA SCF-200.1C

MEIDENSHA SCF-200.5C

MEIDENSHA SCF-200.75C

MEIDENSHA SCF-201C

MEIDENSHA SCF-201.5C

MEIDENSHA SCF-150.1Z

MEIDENSHA SCF-150.2Z

MEIDENSHA SCF-150.25Z

MEIDENSHA SCF-200.3Z

MEIDENSHA SCF-150.33Z

MEIDENSHA SCF-150.4Z

MEIDENSHA SCF-150.5Z

MEIDENSHA SCF-150.75Z

MEIDENSHA SCF-150.8Z

MEIDENSHA SCF-150.84Z

MEIDENSHA SCF-150.9Z

MEIDENSHA SCF-151Z

MEIDENSHA SCF-151.2Z 120

MEIDENSHA SCF-151.3Z 1

MEIDENSHA SCF-151.4Z 1

MEIDENSHA SCF-151.5Z 1

MEIDENSHA SCF-151.8Z 1

MEIDENSHA SCF-152Z 200

MEIDENSHA SCF-52.5Z 25

MEIDENSHA SCF-102.5Z 2

MEIDENSHA SCF-53Z 300 

MEIDENSHA SCF-103Z 300

MEIDENSHA SCF-53.5Z 35

MEIDENSHA SCF-103.5Z 3

MEIDENSHA SCF-54Z 400 

MEIDENSHA SCF-104Z 400

MEIDENSHA SCF-55Z 500 

MEIDENSHA SCF-105Z 500

MEIDENSHA SCF-152.2 22

MEIDENSHA SCF-152.5 25

MEIDENSHA SCF-153 300 

MEIDENSHA SCF-56 600 

MEIDENSHA SCF-57 700 

MEIDENSHA SCF-58 800 

MEIDENSHA SCF-59 900 

MEIDENSHA SCF-510 1000

MEIDENSHA VP94

MEIDENSHA VP110" 

MEIDENSHA VP82

MEIDENSHA VP82L VP94L" 

MEIDENSHA VP65" 

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCV-1010

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-1010G

MEIDENSHA SCV-205G

MEIDENSHA SCV-55

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-152

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA SCV-155G

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF

MEIDENSHA SCV-205G  （MWF034）

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCF-201C

MEIDENSHA SCF-200。5C 

MEIDENSHA SCF-55Z

MEIDENSHA SCV-250.8D

MEIDENSHA SCV-202D

MEIDENSHA SCF-153

MEIDENSHA SCV-520M 

MEIDENSHA SCV-514M   5KV-1400PF     

MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCF-150.1Z　　

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-7.55 (5KV-500pF）

MEIDENSHA SCV-155M(15KV-500pF)

MEIDENSHA SCV-205G

MEIDENSHA SCF-201C

MEIDENSHA SCV-55

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-152

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCV-1010

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-155G

MEIDENSHA SCV-251G

MEIDENSHA SCV-252G

MEIDENSHA SCV-252.5G

MEIDENSHA SCV-1010G

MEIDENSHA SCV-1014G

MEIDENSHA SCV-205G

MEIDENSHA SCV-1020G

MEIDENSHA SCV-1510G

MEIDENSHA SCV-250.3G

MEIDENSHA SCV-250.8G

MEIDENSHA SCV-300.2G

MEIDENSHA SCV-104G

MEIDENSHA SCV-201.7G

MEIDENSHA SCV-7.55H65

MEIDENSHA SCV-151H65

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MEIDENSHA SCV-510H82

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MEIDENSHA SCV-107H94

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MEIDENSHA SCV-315H65G

MEIDENSHA SCV-105H65G

MEIDENSHA SCV-201H65G

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MEIDENSHA SCV-205H94G

MEIDENSHA SCV-252.5H94G

MEIDENSHA SCV-1020H110G

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MEIDENSHA SCV-255H110G

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