★原理:

把高電壓（High Electric Voltage，> 6000 V）加在特殊設計的電極上，並通入適量的空氣（CDA）以為反應氣體，利用高電壓放電的原理，在電漿機構內產生放電現象，而所通入的反應氣體，則可在此放電現象中產生電漿，並藉由反應氣體的流向，將電漿帶出。我們就可利用此電漿來作相關的反應。

★JET噴射式電漿特點:

	表面清潔的處理速度非常快可高達150~250 mm/sec
	可處理的面積為Ø 35 mm
	樣品離電漿出口的距離約為8~12 mm

★BAR式電漿:

	可以搭配在線式（In-Line）作業
	只需使用空氣（CDA）即可
	穩定性與清潔效果佳

★相關應用:

★基本規格: