一、 名稱：全自動石英舟裝卸片機      型號: QT-100H-SYZD

二、 工藝

離線石英舟裝載機

離線石英舟裝載上下料機

1．目的：將石英舟內的硅片通過雙吸片機構吸取出，然後裝進塑料籃具內。以供下一道工序使用。隨後設備將滿籃塑料籃具內硅片吸起，每兩片硅片背靠背，然後放入石英舟中，以供下一工序使用。

2．適用尺寸：156×156 (±0.5mm)厚度為160～280μm的方形硅片。3．操作方式：全自動，離線式

三、設備結構原理：

應用領域：
將石英舟內的硅片通過雙吸片機構吸取出，然後裝進塑料籃具內。以供下一道工序使用。隨後設備將滿籃塑料籃具內硅片吸起，每兩片硅片背靠背，然後放入石英舟中，以供下一工序使用

◎設備特點:

A上下料一體化設計節約了工人搬運石英舟及塑料硅片承載盒的勞動強度,籃具在上下料的過程緊湊相連,循環利用,提高整機的工作效率.所有入籃及入石英舟結構採用耐磨耐高溫自潤滑結構穩定之材料導向,高精密叉子托附,依靠硅片自身重力入籃或入舟.大大降低了碎片率以及對載具的高精度要求.

B機器重要環節採用激光傳感器精確定位,一旦運轉偏離位置,機器自動補償矯正.提高了穩定性,又提升了速度.真空吸盤採用精密耐高溫陶瓷結構,不變形,無污染,矯片叉子採用精度復合材料.

設備環境要求

1.電源： 220V    50~60Hz

2.總功率：3.5kW

3.潔淨壓縮空氣：5~7Kg/cm2

主要技術參數

1．外形尺寸：3500（L）×2030（W）×2210（H）（mm）

2．生產效率：10000片/小時

3．碎片率：≤0.5/1000（原碎片除外）

4．工位數：雙工位