六甲基二硅氮烷
簡  稱 HMDS
別  名 六甲基二硅胺烷 | 雙（三甲基硅）胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分子量 161.39
CAS號 999-97-3
EINECS 213-668-5
密  度 0.770—0.780
折光率 1.408±0.002
閃  點 27℃
沸  點 126℃
色  度 ≤10
性 狀 無色透明液體、略帶胺味
用 途：
1.特種有機合成。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑。
2.為阿米卡星藥用中間體，是羥基及氨基保護劑
3.用於生產橡膠、藥物。該品是消減氣相色譜載體表面吸附活的減尾劑。
4.碱性硅烷化保護劑，無機填料處理劑