主要規格

最大工作壓力（G.）1Mpa

最高工作溫度-10~80℃ (PCTFE公司）

-10 ~ 150℃ (全氟辛烷磺酸）

執行機構工作壓力0.4~0.6MPa

變異係數0.2

內部、外部洩漏裕量（He）

試驗壓力≤ 1×10-2托

保持時間≥ 1分鐘1x10-10Pa·㎥/s

閥座洩漏裕量（He）

試驗壓力≤ 1×10-2托

保持時間≥ 15秒1x10-10Pa·㎥/s

顆粒檢測壓力：60~80psi

氮氣樣品體積：1CFM

0.1㎛ 更大的不算

內表面粗糙度Ry≤ 0.7㎛ 5μ英吋Ra（平均值）