低溫等離子淨化器中等離子體是一種聚集態物質，它有別於常識中的“固”、“液”、“氣”三態物質，是物質的第四態，其所擁有的電子同空氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，並在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

低溫等離子淨化器去除污染物的原理：

在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一系列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。

傳統的廢氣處理方法會受到很多條件的限制，但是使用低溫等離子進行廢氣處理受到的限制就會相對少很多，同時它還具有很多潛在的優勢。低溫等離子淨化器在進行工作的時候，它主要採用到了的吸附、分解、碳化的方式，離心式抽風機的安裝和新的工藝技術的應用讓等離子淨化器具有着多的優點，它也是一種干法處理廢氣的設備。等離子淨化器在工業中的應用改變了活性炭材料的工藝和技術，在使用的時候換維護都會方便一些