高真空退火爐 高溫氧化爐

高真空退火爐 高溫氧化爐
型號:-
品牌:晨立
原產地:中國
類別:工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰退火爐 , 熱處理爐 , 擴散爐
單價: ¥220000 / 件
最少訂量:1 件

產品描述

用途: 

  高真空退火爐供大規模集成電路、MEMS 生產線用做6"硅片的合金、氧化、退火、燒結、擴散等工藝使用。同時也可下沉工藝,完成4寸wafer 的相應工藝。
一、設備結構:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求
4、自動化程度:工控機控制系統自動控制工藝流程
5、送取片方式:手動進出舟。
6、外形:主機1台,主機架為臥式兩管。

二、主要技術參數:
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英吋硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度範圍: 200~800℃         
3、恆溫區長度及精度: 600mm,           
4、控制方式:由工控機統一管理工藝

5、真空度:2*10-4 Pa

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會員信息

青島晨立電子有限公司
國家/地區︰山东省青岛市
經營性質︰生產商
聯繫電話︰13869885308
聯繫人︰姜經理 (市場部)
最後上線︰2024/12/21