1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統

型號：	CVD系统
品牌：	成儀
原產地：	中國
類別：	電子、電力 / 儀器、儀表 / 實驗儀器裝置
標籤︰	1200度CVD系統 , 1500度CVD系統 , 1700度CVD系統
單價：	¥80000 / 件
最少訂量：	1 件

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產品描述

1200度1500度1700度CVD生長系統

該CVD系統是不同溫度例如1200度1500度1700度管式爐、不同溫區單溫區雙溫區三溫區的管式爐，管徑有50mm，60mm,80mm,100mm石英管或者剛玉管，帶精密氣體流量控制器的質子流量計或者浮子流量計，以及真空系統組成真空系統由VRD系列的兩級旋轉真空泵和KYKY分子泵構成的CVD系統。具體要求根據客戶需求來配置的，實驗研究表明：CVD系統可用於保護氣氛的環境燒結，也可用於各種薄膜的制備，石墨烯薄膜生長、納米管生長等，2D材料生長。

以下圖片由不同溫度的爐子和流量計真空泵搭配的

1.1200度單溫區管式爐3路質子流量計真空泵CVD系統

2.1500度單溫區3路浮子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統

3.1700度單溫區3路質子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統

管式爐部分
爐體溫度	1200度，1500度，1700度
爐膛模式	開啟式
顯示模式	高亮度LED數碼管
爐膛材料	氧化鋁纖維
加熱元件	高純硅鉬棒
升溫速率	≤20℃ (建議:10℃/min)
加熱溫區	單溫區
溫區長度	440mm （單溫區）220mm+220mm(雙溫區)220mm+440mm+220mm（三溫區）（1500C1700C 沒有三溫區）
恆溫區長	260mm（單溫區）130mm+130mm(雙溫區)180mm+440mm+180mm（三溫區）（1500C1700C 沒有三溫區）
爐管材質	1200度是石英管1500度和1700度是剛玉管
爐管尺寸	1200度石英管OD501000，OD601000，OD801000，OD1001000mm 三溫區長度石英管長度是1400mm 1500度和1700度剛玉管尺寸單溫區剛玉管尺寸OD501000，OD601000，OD801000 1500度和1700度剛玉管尺寸雙溫區剛玉管尺寸OD501200，OD601200，OD801200
密封方式	真空法蘭
氣密性	7.8×10-4Pa
控制模式	智能PID
控溫精度	±1℃
溫度曲線	30段"時間—溫度曲線"任意可設
超溫報警	有
過流保護	有
斷偶提示	有
加熱元件	1200度電阻絲，1500度硅碳棒，1700度硅鉬棒
測溫元件	1200度K型熱電偶，1500度S型熱電偶，1700度B型熱電偶
電氣認証	CE認証
供電電源	220V 50Hz
額定功率	4KW
外形尺寸	700510720 mm
售后服務	12個月質保，終身保修
真空泵部分
型號	VRD-4 雙級旋轉真空泵系統或者是KYKY FJ-110分子泵系統
抽速m/h(L/s)	4(1.1)
極限分壓強-無氣鎮（Pa）	5×10-2
極限總壓強-無氣鎮（Pa）	5×10-1
極限總壓強-有氣鎮（Pa）	3
電源	AC220V
電機功率（KW）	0.4/0.37
進排氣連接口DN(mm）	KF16/25
用油量（L)	0.6～1
電機轉速（rpm）	1440
流量計部分
產品名稱	質子流量計一路，二路，三路，四路，浮子流量計一路，二路，三路，四路下列參數是以3路質子流量計為例的參數
流量計類型	質子流量計
流量計管芯	304不鏽鋼
調節閥類型	電磁調節閥
管道常態	常閉
流量計外殼	黑色鋁殼
氣體種類	3種
接口尺寸	1/4"
測量精度	±1.0%F.S
線性度	±0.5%F.S
重複精度	±0.2%F.S
壓力範圍	-0.1-0.15 MPa
A路氣體測量範圍	0～100SCCM
B路氣體測量範圍	0～200SCCM
C路氣體測量範圍	0～500SCCM
流量控制範圍	2%～100%
零點溫漂	0.6F.S(15～35℃)
響應時間	2S
工作環境溫度	(15～50℃)
精度保証溫度	(15～35℃)
供電電源	220V 50Hz
外形尺寸	L700×W600×H580
設備重量	43kg