●Surpass系列 干法刻蝕機，特別適合於大口徑、高均勻性和有特殊微納結構的基片刻蝕，刻蝕尺寸可達φ2500mm，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統，可達到基片有效刻蝕區域內均勻性較高的技術指標，滿足大口徑基片刻蝕的需求。