晶圓校準器 Wafer Aligner
晶圓校準器是一種應用於晶圓加工中的晶圓預對準裝置，通過利用晶圓上的缺口(notch)將晶圓調整至預設位置，以確保晶圓的位置及方向，方便後續工藝的進行。產品廣氾應用於半導體製造過程中的各個階段，可集成至各類半導體設備中使用。