高純度計量泵

手動和步進控制分配泵

電子計量泵

PEM050 電子步進泵可在 PTFE 流體路徑中精確分配 1-50 毫升腐蝕性介質，用於化學補充、混合、計量和加料應用。這些可靠的泵具有完全支撐的滾動隔膜，可最大限度地提高排放壓力能力。正控制閥通過消除止回閥常見的可變性來確保準確性。它們提供最多 5 個排放端口，可通過可編程系統邏輯獨立控制。

• 電子控制可調行程
• 分配量高達 50 毫升
• 高精度；重複性± 0.01%
• 60 – 80 psi 能力
• 可編程系統邏輯
• 2 至 6 端口可配置

PEM050 規格表

氣動泵

PPM100 氣動計量泵可在 PTFE 流體路徑中精確分配高達 100 毫升的高純度化學品。它採用全支撐滾動隔膜操作，以最大程度地提高排放壓力能力。兩個正控制閥通過消除止回閥常見的可變性來確保準確性。

• 手動控制可調行程
• 分配量高達 100ml
• 高精度；重複性± 0.1%
• 60 – 85 psi 能力

PPM100 規格表

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PEM 操作

概述

White Knight 計量泵提供可調節的流量，可用於單晶圓處理工具或預混容器，以確保精確的化學混合物，並允許直接在頭部進行現場混合。這些泵可精確分配高純度化學品，用於補充、混合、計量和加料應用，以及清潔 CVD 設備和光刻。它們是光刻膠、蝕刻和清潔工藝、食人魚混合物中的過氧化物加料以及在引入基材之前將化學混合物混合到工藝罐中的理想選擇。

特點與優勢

• 完全可調節的沖程速度
• 安全、無洩漏運行，無需維護
• 無暴露的金屬，可防止腐蝕和污染
• PTFE 全覆蓋流體路徑，適用於超純應用
• PTFE 滾動隔膜，帶 PP 外殼
• 可輕鬆設置和監控的視覺位置參考
• 採用卡入式/卡出式安裝，易於安裝和維護
• 可任意方向安裝
• 潔淨室組裝、測試和包裝
• 洩漏檢測端口
• 自吸式
• 緊湊的尺寸
• 最小滯留量
• 正入口/出口閥門可防止液體流過

規格

	PEM050	PPM100
分配範圍	每沖程 1 - 50 毫升	每次沖程 10 - 100 毫升
分配重複性	± 0.01%（滿量程）	± 0.1%（滿量程）
每分鐘循環次數	最高可達 6 CPM	最高可達 12 CPM
每循環空氣消耗量SCF	1-3 標準立方英呎/分鐘	0.038-0.048 標準立方英呎/分鐘
流體路徑材料	聚四氟乙烯	聚四氟乙烯
閥門驅動 氣壓	4.14 - 5.52 巴 （60 - 80 磅/平方英吋）	4.14 - 5.86 巴 （60 - 85 磅/平方英吋）
最大排氣壓力	3.8 巴 （55 磅/平方英吋）	5.86 巴 （85 磅/平方英吋）
溫度能力	最高 100°C (212°F)	最高 100°C (212°F)
重量	2.95 千克 （6.5 磅）	1.6 千克 （3.5 磅）
吸程*	4.6 米 （15 英呎）	4.6 米 （15 英呎）
溝通	串行、以太網或數字（0-5 V、0-10 V、4-20 mA）	-
洩漏檢測選項	閥門位置傳感	閥門位置傳感
	PEM050	PPM100

*吸力隨時間減小。建議安裝高度低於源頭上方 4.6 米（15 英呎）。優化的參數可以提高重複性（高達 ± 0.01%）。儘量減少吸力以最大程度地提高重複性。測試在環境溫度下用水進行。分配範圍在全行程測量，最大和最小供應壓力分別為 80 psi 和 60 psi。詳情請聯繫 White Knight。

方面

• PEM050
• PPM100

	“A”	“B”
PEM050-02	2.7（69）	11.0（279）
PEM050-03	4.2（107）	12.5（318）
PEM050-04	4.2（107）	12.5（318）
PEM050-05	5.7（145）	14.0（356）
PEM050-06	5.7（145）	14.0（356）