微控擴散爐

微控擴散爐
型號:-
品牌:福潤德
原產地:中國
類別:工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰ -
單價: -
最少訂量:-

產品描述

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業,對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超淨化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術指標:
可處理硅片尺寸:2—12英吋
外型形式:臥式1—4管結構
工作溫度:200℃—1300℃
恆溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩定性、重複性: ≤±1℃/24h
溫度斜變: 可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率: 5℃/min
送片裝置:全自動懸臂推拉舟、拉杆式推拉舟
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:全自動MFC
控制方式:工控機、觸摸屏

微控擴散爐 1

會員信息

青島福潤德微電子設備有限公司
國家/地區︰山东省青岛市
經營性質︰生產商
聯繫電話︰13969693848
聯繫人︰張琪 (銷售)
最後上線︰2024/09/07