MF3000M氣體質量流量計MF3000S微型流量傳感器

產品簡介：MF3000系列氣體質量流量計採用旁路設計並使用本公司的MEMS流量傳感器芯片，集成了時域流量傳感技術和智能電子技術。與市場上傳統的量熱式流量傳感技術相比，這種時域流量傳感技術消除了一些常見氣體的敏感性。而對於另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現氣體識別。MEMS芯片表面採用氮化硅陶瓷材料鈍化，並結合防水、防油納米塗層，產品性能和得以大幅度提升。時域流量傳感技術還提供了線性度，並使用度效應大幅降低。

MF3000系列氣體質量流量計能直接測量氣體質量流量，適用於各類清潔、乾燥氣體。MF3000系列氣體質量流量計測量範圍覆蓋（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM,該流量計工作壓力提高到0.8MPa，MF3000系列氣體質量流量計提供多種信號輸出，通過RS485或I2C數字通訊接口可實現遠程數據採集與設置，並可選擇NPN或PNP開關信號輸出。MF3000系列氣體質量流量計同時具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用戶在現場調整或者查詢流量計的參數。本產品可用於工業應用中的焊接機器、激光設備、氣體混合控制等。

產品特點：

質量流量，時域傳感技術

全量程（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM

全量程優良的重複性

可測量多種氣體不需要修正

多種輸出信號可選

支持多種連接方式，易於安裝與使用

工作原理

MF3000系列氣體質量流量計是基於銘鴻儀表公司自主研製MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關係，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。

該流量的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源週邊形成穩定的溫度場分布。MEMS芯片上溫度傳感器將測量到具體的溫度變化並轉換為電信號，經放大、調理和線性化處理后，通過LED顯示或模擬、數字信號輸出。由於不同種類的氣體對微熱源週邊形成穩定的溫度場分布所產生的溫度變化不同，所以能測量氣體的質量流量。

技術參數：

流量範圍：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM

量程比：50：1

精度：±（2.5+0.5FS）%

重複性：1.0%

零點穩定度：±30MV

輸出漂移：±0.12%/℃

響應時間10MS

工作電源：8-24VDC,50MA

信號輸出1：RS485或I²C

信號輸出2/3：模擬電流4-20mA/模擬電壓：1-5VDC/NPN/PNP

顯示方式：4位4段LED數碼管，2個指示燈

顯示單位：瞬時流量：SLPM;累積流量：SL或Nm³

顯示分辨率：瞬時流量：0.01SLPM,累積流量：0.1SL或0.01Nm³

工作壓力：0.8MPa

工作溫度：-10～+55℃

儲存溫度：-20～+65℃

工作濕度：<95%RH（無結冰、無凝露）

機械接口：BSRT1/4外螺紋  4、6、8MM快速接頭  或8mmL型接頭  BSPT1/2內螺紋

按鍵：三個按鍵

校準方式：空氣（20℃，101.32kPa）

電氣接品：6針插座，廣瀨：DF51K-6P-2DS

符合性：RoHS,REACH

備註：1.為了流量計的測量精度，使用前需要預熱一分鐘

• 傳感器默認為空氣校準，測量 其它氣體時，精度會有所下隆
• 默認響應時間這10MS可通過修改濾波調慢響應時間。
• 以上參數在為20℃101.325kPa下測得。

輸出引線定義：

1、紅色：信號輸出3：NPN/PNP

2、灰色：信號輸出2：模擬電流4-20mA/模擬電壓1-5VDC/PNP/NPN

3、藍色:GND 電源/信號地（-）

4、棕色：VCC電源正8-24VDC（+）

5、黑色：RS485A(+)I²C時鐘線（SCL）

6、白色：RS485B(-）I²C數據線(SDA）

流量計的電氣接口為DF51K-6P-2DS（廣瀨），出廠時帶一型號為DF51K6-100的配線，長度 為100CM，一端為插頭DF51K-6S-2C(與DF51K-6P-2DS配套連接)另一端散口。