設備型號 SP-12112AS SP-1512AS SP-1912AS SP-1515AS 真空室尺寸（mm） 1200×1200 1500×1200 1900×1200 1500×1500 極限真空 6.0×10-*Pa 抽氣時間 空載大氣至5.0×10-Pa小於15分鐘 壓升率 1h≤0.5Pa 真空泵組 機械泵+羅茨泵+擴散泵/分子泵/深冷系統+維持泵 加熱系統 常溫至300℃可調可控（PID控溫） 加氣系統 質量流量控制儀（1-4路） 靶結構 圓弧靶、柱狀濺射靶、條形離子源 電源類型 直流濺射電源、弧電源、高壓轟擊偏壓電源、離子源電源等 工件旋轉方式 公轉+自轉 變頻可控可調1-5轉/分 控制方式 手動+半自動+全自動—體化+PLC+IPC 備註 設備各配置指標可按客戶產品及特殊工藝要求定製