IKO直接驅動型校準工作台SA･･･DE的直線導向部使用IKO自潤滑直線導軌L，旋轉導向部使用IKO交叉滾子軸承，驅動部採用直接驅動方式，是一款低斷面緊湊型做XYθ運動的校準工作台。
   高精度定位：校準工作台SA･･･DE通過高分解能線性光柵尺搭配全閉環控制，實現了沒有后移間隙的高精度定位。

三軸自由組合：而且，直線移動用的X軸可動工作台和旋轉定位部θ軸轉台均已標準化，可方便地進行X軸和θ軸的組合或架構XY軸的校準工作台。

兩種分解能：直線電機驅動的X、Y軸有0.1μm和0.5μm兩種分解能，可根據用途選擇。