爐管數：1～4管

配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英吋)

恆溫區長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)  760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

單點穩定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)    ±0.5℃/24h (800～1280℃)

氣源路數：    ≤7路，可配恆溫源瓶、氫氧合成點火器

氣體控制：    浮子/質量流量計

懸臂舟參數： 速度：    20～1000 mm/min    行程：2000 mm    定位精度：±1 mm    載荷：17 Kg

超淨工作台： 淨化等級：100級（萬級廠房）

噪音：    ≤62dB（A）

振動：    ≤3μm