ITO薄膜（銦錫氧化物）有複雜的立方鐵錳礦結構，最低電阻率接近10^- 5Ω·cm 量級，可見光範圍內平均光透過率在90%以上，其優良光電性質使之成為具有實用價值的TCO薄膜。

    ITO透明導電膜除了具有高可見光透過率和高電導率，還具備其它優良的性能，如高紅外反射率、與玻璃有較強的附着力、良好的機械強度和化學穩定性、用酸溶液濕法刻蝕工藝容易形成電極圖等，被廣氾地應用於平板顯示器件、微波與射頻屏蔽裝置、敏感器件和太陽能電池等很多領域。特別是近年來液晶等平板顯示器件的崛起，更促進了ITO薄膜的研究和需求。