氣相法二氧化硅是極細的無定形二氧化硅，分子式SiO2它是一種白色蓬鬆粉末，多孔性，無毒無味無污染，耐高溫，同時它具備化學惰性。由球形原生粒子組成。原生粒子****平均粒徑為40nm，最小平均徑為7nm。如果能將1克200比表的原生粒子挨個排列成一條鏈，它的長度約為地球與月亮之間平均距離的17倍。原生粒子的大小可以通過另外一個例子來進一步說明：200比表氣相法二氧化硅的原生粒子直徑與足球直徑之比相當于足球與地球直徑之比。原生粒子不是孤立存在的，它們形成體和附聚體。在不同應用中的行為特性是由原生粒子大小及其附聚體在該應用體系中的分布共同決定的。不像沉澱法二氧沒有明確的附聚體尺寸。