1. 金屬靶材:
鎳靶材,鈦靶材,鋅靶材,鉻靶材,鎂靶材,鈮靶材,錫靶材,鋁靶材,銦靶材,鐵靶材,鋯靶材,硅靶材,銅靶材,鉭靶材,鍺靶材,金靶材,銀靶材,鉑靶材,鈀靶材,釕靶材,錸靶材,銥靶材,鋨靶材,鈷靶材,釓靶材,鑭靶材,釔靶材,鈰靶材,鈧靶材,鏑靶材,鉿靶材,鉬靶材,鐵鎳靶材,鎢靶材,不鏽鋼靶材,鋯鋁靶材,鎳鐵靶材,鈦鋁靶材,鐵鈷靶材,鎳鉻靶材,銅銦鎵靶材,鋁硅靶材,鋅鋁靶材等單質金屬靶材及合金濺射靶材。