技術參數

1. 最小測漏率： 5×10-12 mbar l/s
2. 漏率顯示範圍： 10-12–1 mbar l/s
3. 啟動時間(冷機啟動至可工作狀態的時間)： < 3 min
4. 測漏反應時間： 0.5 s
5. 最大進口壓力： 25 mbar
6. 重量： 44 Kg
7. 功率： 400 VA
8. 測試口法蘭： DN 25 ISO – KF
9. 繼電器輸出: 2 x 230 VAC
10. 輸出繼電器容量: 3 A


主要特點

1．無與倫比的 Twin- Flow 專利設計結合 Pfeiffer Split-flow 專用分子泵，可使檢漏精度及檢漏效率達到最高。
2．進口壓力 25 mbar，為氦檢漏業界最高的標準，可幫助客戶快速進入檢漏狀態。
3．靈活多樣的用途，有多達 6 款設備可供客戶選擇。
4．適用於真空, 半導體設備檢漏, 鍍膜, 電子零件, 熱交換器等行業使用。

儀器介紹

氦質譜檢漏儀的應用：
德國普發真空（PFEIFFER VACUUM GMBH）作為世界專業的真空產品製造商，可為各類用戶提供世界一流的高性能產品。氦檢漏儀作為普發真空的核心產品，被廣氾應用於電子、半導體、鍍膜、汽車、科研等行業，目前，國內的知名企業（例如：ABB、西門子、菲利浦、3M 等）都有應用到普發真空的產品。