1  HB 水平布里支曼

(1) 主要技術指標

■ 結構型式：單管水平式，加熱爐體可左右移動

■ 適合2~4″晶體生長工藝（可定製）。

■ 爐體有效加熱長度：1600mm。

■ 最高工作溫度： 1300℃                    

■ 恆溫區精度（靜態閉管）：±0.5℃

■ 升溫速率（室溫～1260℃）： 斜變升溫速率可控在0～15℃/ min

■ 降溫（1300℃～ 900℃）： 0～5℃/ min   

■ 供電電源：三相五線  380V±10%   50Hz

2        HGF  水平梯度冷凝

(1)    主要技術指標

■ 結構型式：單管水平式，加熱爐體不移動

■ 適合2~4″晶體生長工藝（可定製）。

■ 爐體有效加熱長度：1600mm

■ 最高工作溫度： 1300℃                    

■  恆溫區精度（靜態閉管）：±0.5℃

■ 升溫速率（室溫～1260℃）： 斜變升溫速率可控在0～15℃/ min

■ 降溫（1300℃～900℃）： 0～5℃/ min   

■ 供電電源：三相五線  380V±10%   50Hz

3        VGF 垂直梯度冷凝

(1) 主要技術指標

■ 結構型式：立式，加熱爐體不移動。

■ 適合2~6″晶體生長工藝（可定製）。

■ 爐體有效加熱長度：700-1000mm

■ 最高工作溫度： 1300℃                       

■ 恆溫區精度（靜態閉管）：±0.5℃

■ 升溫速率（室溫～1260℃）： 斜變升溫速率可控在0～15℃/ min

■ 降溫（1260℃～900℃）：0-- 5℃/ min   

■ 供電電源：三相五線   380V±10%   50Hz