賽瑞達生產的擴散爐爐體主要用做半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS，美國TYAN，美國THERMCO，荷蘭ASM，英國BTU等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），採用國外先進的加工工藝，選用進口材料，可處理2~8英吋硅片的擴散工作。

   ⑴ 擴散爐體結構圖

   ⑵產品性能及特點

     具有使用壽命長、溫區穩定、結構合理、性能可靠等特點，並可以根據用戶要求定做。