六甲基二硅烷[(CH₃)₃SiSi(CH₃)₃,縮寫為HMDS]主要用途：

1.醫藥中間體

用作合成三甲基硅基鋰、三甲基硅基鈉、三甲基硅基鉀的原料。

硅基化試劑，用於制備三甲基硅基陰離子、三甲基碘硅烷和三甲基硅基碱金屬鹽及醫藥中間體合成中基團的保護劑。

盤尼西林、頭孢黴素、氟尿嘧啶及各種青黴素衍生物等 合成過程中的甲硅烷基化。

2.其他行業

由於富含Si、C元素，在光電子行業和陶瓷行業也有一定的應用。

硅藻土、硅石、鈦等粉末的表面處理，半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑，特種有機合成。