藍寶石襯底基片清洗機
一、設備外型結構及主要參數

  名稱：藍寶石襯底基片清洗機。

  控制模式:  手動控制模式   自動控制模式。

  清洗能力：2-4英吋， 2籃/批，25片/籃。

  需甲方提供花籃。

  設備形式: 室內放置型。

  潔淨度：千級潔淨室 。

二、工藝流程細節及槽體布局及配置

  工藝說明:手動方式實現放片，取片，槽體間傳送片。

  工藝參數（溫度，時間，DI水清洗流量，時間）手動設定。

  設備台面布局按用戶要求配製。