白光干涉儀SIS系列採用增加相位掃描干涉技術，是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統,，為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應商，LPL友好俱樂部成員，清華大學，臺灣大學，首爾大學友好合作夥伴。

1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量範圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要几秒鐘。
6、掃描儀：採用閉環控制系統。
7、工作台：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基於windows 操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。

　

機型		SIS 1200
工作台	尺寸	250 mm×174 mm
	傾斜度	±3 °
測量行程		X:150mm     Y:100mm
Z軸行程		50mm
運動方式		手動
掃描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物鏡安裝架		手動導引五孔式
鏡頭選配		鏡頭：5×、10×、20×、50×

1、TFT產業
2、半導體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工

水準測量器、旋轉台、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等