超聲波流量計儀是一種用於檢測半導體製造裝置內，塗布藥液的流量管理的一種測量儀器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭，相互進行收發信號，測定各自傳播時間；順流的超聲波會很快到達，相反逆向的超聲波則會較晚達到，根據傳播時間算出流速，並通過流速算出流量。

1、配管兩端裝有超聲波探頭，相互進行收發信號，測定各自傳播時間。
2、無突出部位暴露在流液內不會產生測量誤差。
3、與液體接觸部完全使用TEFLON製造。
4、測量範圍大。

　

具體型號	USF100A-G10EP
計測方式	超音波傳播時間差方式
耐壓力	0.5MPa
測定流量範圍	0.05-2L/min
分辨能力	1L/min
更新週期	0.01秒
測定流量精度	±1%FS
測定對象	流量（純水、藥液）

半導體製造裝置內，塗布藥液的流量管理。