1.整機由機架,操作台面,引風裝置,管路系統，保溫裝置，加熱系統，照明系統,電控單元及清洗槽體等組成，適用於六英寸以下硅片的清洗。.

2.引風裝置由引風窗和排風口所組成，風量大小可以調整.

3.台面為多孔結構,有利於操作台面水,液的排出和清潔.

4.採用獨立封閉照明形式。

5.本清洗機每個槽體均由專用的控制器進行控制,其工藝參數均可單獨修改.

6.電控單元控制面板設置在機台的左上部,操作方便
7.加熱槽體採用氟加熱管.配備有保溫裝置

8.可以根據不同要求設計加工。