對於晶體構造中不存在對稱中心的異極晶體,加在晶體上的張緊力、壓應力或切應力,除了產生相應的變形外,還將在晶體中誘發出介電極化或電場。這一現象被稱為正壓電效應;反之,若在這種晶體上加上電場,從而使該晶體產生電極化,則晶體也將同時出現應變或應力,這就是逆壓電效應。兩者通稱為壓電效應。壓電閥即是利用壓電逆效應而研製的。
壓電材料的變形量正比于施加在其上的電場強度,利用這一特點,可以開發出比例調壓閥。由於壓電閥片在變形過程中不受機械摩擦力,且壓電閥片有響應快功耗低的特點,基於壓電閥片的電氣比例調壓閥很多性能優于傳統的比例調壓閥。例如其沒有死區,壓力可以從零開始連續調節;其響應快,可滿足高速系統的應用要求;其功耗低,對電源功率要求低。
壓電式氣動換向閥(壓電閥)是把壓電技術引入到氣動閥中的一項新技術,相對於傳統的氣動閥,其有功耗低、響應快、沒有電磁干擾、壽命長及不會發熱等優點。其在工業及過程自動化控制領域有廣闊的應用。
美國PEV-1壓電閥是為了適用於要求精確控制氣體流量的場合,主要應用領域包括:磁控濺射,光學鍍膜,太陽能電池,ITO,等離子體刻蝕等。
PEV-1壓電閥主要技術特點:
1、控制模式:開環控制和閉環控制
2、易於集成:可與國產自動壓強控制儀配套使用,來實現閉環控制,達到穩定壓強的目的,性價比高,同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩定,壓電陶瓷片壽命長
5、無機械連接件,無伺服馬達,無磨損,在斷電的情況下可實現自動關閉的特點
技術參數:
流量:0¬—500 scmm
響應時間:2 毫秒
漏率:1*10-9sml/sec
電壓:0—100VCD
溫度範圍:10攝氏度至60攝氏度
最大入口壓強:50PSI