一、產品介紹  

SJ6000激光干涉儀產品採用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，採用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然後通過高精度激光干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。

二、激光干涉儀工作原理

從激光器發出的光束，經擴束准直后由分光鏡分為兩路，並分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈衝信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈衝數，再由電子計算機按計算式□式中□為激光波長(N 為電脈衝總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求週圍大氣處於穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。

三、SJ6000激光干涉儀的技術參數

• 測量方式：單頻
• 穩頻精度：0.05ppm
• 動態採集頻率：50 kHz
• 預熱時間：5-10分鐘
• 工作溫度範圍：0~40℃
• 環境溫度範圍：0~40℃
• 存儲溫度範圍：-20℃~70℃

• 空氣溫度傳感器：±0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃
• 材料溫度傳感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃
• 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
• 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 測量距離：0-40m
• 測量精度：0.5ppm (0-40℃)
• 測量分辨率：1nm
• 測量最大速度：4m/sec

• 軸向量程：0-15m
• 測量範圍：±10°
• 測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.1μm/m

• 軸向量程：0.1-4.0 m
• 測量範圍：±2.5 mm
• 測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.01μm

• 測量範圍：±3/M mm/m
• 測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.01μm/m

• 軸向量程：0-15 m
• 測量範圍：±1.5 mm
• 測量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.1μm

• 角度測量範圍：0-360°
• 精密轉台角度增量：5°
• 精密轉台分度精度：±1秒
• 精密轉台重複性：0.2秒