本設備適用於TCO導電膜玻璃的清洗乾燥，從上流的Loader投入的基板經清洗、噴淋、風刀洗淨基板后，並通過HOT Blaw、IR去除水分，經冷卻基板溫度后，進入下道工序。

驅動方式：直流馬達+塑料組合鏈條+螺旋齒輪；

        噴淋方式：扁平噴嘴，採用上、下噴淋的方式，上下各4排噴淋管道，配有壓力調節及角度調節，包括：22.5℃、30℃、45℃三種角度調節；

        液    切：配置風刀，上下各一只，通過控制氣流去液及防止灰塵再附着。

        IR  乾燥：具有加熱、保溫、防過加熱等；