由激光准直光源發射的調製激光，通過空間濾波器，消雜光系統和成像系統，匯聚成一個直徑極小的光束，此光束被測量表面漫反射到一個分辨率極高的psd位移傳感器上， 通過psd位移傳感器所感應到光束位置的不同， 可精確測量被測物體位置的變化。位置變化的感應精度可達0.001mm。

1、 檢測系統的綜合測量誤差 ：±0.20mm

2、 漂移量（測距30m） ： ＜0.01mm/h

3、 工作距離 ： 0~50 m

4、 測量軸系直徑範圍 ：Φ90mm~Φ500mm（另配支架，實際可達到3m）

5、 激光波長 ： 650nm

6、 儀器輸出激光功率 ： ＜1mw

7、 環境溫度 ： -10℃~50℃

8、 環境濕度 ：＜90％RH

9、 電源（主機） ：DC4.5V