KS-L150
軌道式勻膠顯影機

全封閉結構，適用於0.8 m以上工藝製程。
1. 功能模塊、通道數量靈活選配。
2. 機械手傳送晶片，無污染，安全可靠。
3. 具備故障診斷，曆史記錄追憶功能。
4. 操作界面簡捷，加工程序編製、儲存、編輯、修改、調用靈活。
技術指標：
晶片尺寸：Ф50mm～Ф150mm（方形基片對角線）
主軸轉速：Max.5,000rpm
加 速 度：Max.50,000rpm/s
熱 盤：50℃-120℃±0.6℃
120.1℃- 250℃±0.5%
可選單元：FFU，AD，CP etc.
外型尺寸：H1700×W1700×D1100 (mm)