微小孔及小間隙內壁粗糙度儀

※ 最小直徑100μm的微小孔測量
※ 直徑35μm的高度探針管嘴
※ 垂直解析度5nm
※ 9個軸對準所有的孔嘴
產品520 TPR 是專為測量微小孔及小間隙內壁粗糙度而設計，可得到非常精確的粗糙度值 （Ra, Rt, Rz, RSm...)
為了實時對準被測孔，本儀器配備了3個自動旋轉軸及3個自動轉換軸。
由微量鎢和碳纖維組成的傳感器，能實現內部形貌的精密測量。這歸功于本公司在框架結構下開發的LVDT技術。
技術規格
X，Y，Z 軸範圍 (mm) Up to 200 x 200 x 200 (motorized)
解析度 (μm) 0.5 (0.1 in option)
形貌的直線度 Up to 0.6 μm x 200 mm
尺寸 L900 x W710 x H1980
重量 (kg) 650
PheNIX技術 由ALTIMET公司開發，同時滿足工廠及實驗室使用
最大檢測速度 250 μm / s
探針 AltiProbe NEEDLE
原理 特殊設計的感應傳感器
範圍 150 μm to 1.5 mm
垂直解析度 2 to 60 nm
側面解析度 2 μm stylus radius – diameter of 35 μm
頻率 up to 30 KHz
探針 AltiProbe CLA
原理 白光CLA (Chromatic Light Aberration)
範圍 Modular confocal optical probeof 300 μm
垂直解析度 6 to 600 nm (accuracy: 20 nm to 3 μm)
側面解析度 up to 1.1 μm
探針 AltiProbe Inductive
原理 標準電感傳感器或特定的觸針
範圍 150 μm to 1.5 mm
垂直解析度 2 to 60 nm
側面解析度 2 μm stylus radius 60°or 90° or customized
配備
分析軟件 Altimap suite: Lab to line interface (control card). Self macro analysis
CCD Camera 測量區域的觀察和選擇 Zoom up to x1200