國產全自動射頻匹配器 VENA-500
| 型號： | VENA-500 |
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| 品牌： | 亞美 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 電子、電力 / 電源和配電設備 / 其它電源和配電設備 |
| 標籤︰ | 匹配器 , 射頻 , 自動 |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | 1 件 |
產品描述
Auto RF Match VENA系列說明
VENA系列自動匹配器用於0-1500W的真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積，化學氣象沉積，磁控濺射，以及太陽能製造設備PECVD等設備當中，主要功能是實現全自動匹配，解決了現在國內真空鍍膜設備中的一個技術空缺；目前國內主要真空設備廠家的產品大多使用手動匹配器，使用起來十分不便，在設備啟動后抽真空加功率起輝過程中，要不斷地調整手動匹配器的阻抗而使輸出達到工藝的要求，而自動匹配器則可以彌補這一缺陷，具有自動，快速，可靠，高效，準確，節省人力和時間等特點。可選的射頻系統檢測模塊可實時檢測出系統的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等，從而使您能夠發現並顯著降低製程變化性。產品覆蓋500W, 1000W, 1500W等功率。
VENA-500
VENA-500
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主要功能特性
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頻率
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13.560MHz
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最大傳輸功率
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500w
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反射功率（最大功率時）
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<3w
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最大負荷電流
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10ARMS
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最大負荷電壓
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4000VRMS
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傳輸效率
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>90%
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負載阻抗
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50Ω
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RF輸入連接器
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50 Ω, UHF（或N-type）, female
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最大等離子直流偏置電壓
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0 to 2.000 VDC
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直流偏置電壓檢測值
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0~5VDC
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匹配時間
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3~5s
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主電感
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8圈
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主電容
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空氣電容
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可匹配阻抗實部範圍
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0~80Ω
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可匹配阻抗虛部範圍
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-j200~~+j100
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RF輸入連接器
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50 Ω, UHF（或N-type），可自定製
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接口與冷卻方式
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控制接口
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自動手動控制窗口
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冷卻方式
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風冷
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風流量
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48CFM
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電源
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AC電源
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220VAC
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AC頻率
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50/60Hz
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電源功率因素
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90%(最大功率時)
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機械特性
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表面安裝螺絲
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6-32螺絲
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重量
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5kg
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尺寸
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430mm（D）x220mm（W）x130mm（H），或可自定製
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會員信息
| 中山市格美電子有限公司 | |
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| 國家/地區︰ | 广东省中山市 |
| 經營性質︰ | 生產商 |
| 聯繫電話︰ | 13926016641 |
| 聯繫人︰ | 劉旭昌 (銷售工程師) |
| 最後上線︰ | 2016/04/15 |
