中空式壓電掃描台是移動台面有透空通孔的直線壓電平台，可將負載以亞納米級精度移動。壓電掃描台具有高可靠性、高分辨率，且具有非常優秀的運動線性度和平面度，及更高的機械強度。經常在顯微步進中使用。它的快速步進與穩定的運動改善了光學系統中的分辨率。這包括相機成像過程技術和圖像識別，例如生物識別技術。而且，它具有一個獨特的特點，在中心處有一個大的中孔。這可在光學路徑中創造更好光學路徑條件。