芯源公司創立于2002年，由中科院瀋陽自動化研究所引進國外先進技術投資興辦，主營產品為集成電路製造勻膠/顯影設備（即Coater / Developer）。公司擁有高等級淨化廠房和一流的研發辦公環境，已通過ISO9001、ISO14001、OHSAS18000體系和SEMI-S2認証。

       芯源公司擁有專業的技術團隊，在引進國際先進技術的基礎上，消化吸收、創新提高，擁有多項專利技術並形成系列產品，包括全自動、手動設備，模組結構，靈活選配，可根據用戶的工藝要求量身定製產品。產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣氾用於光刻、製版、擦片、清洗、濕法刻蝕、高端封裝和各種薄膜旋塗工藝。可滿足Ф200mm、0.25μm前道製程和Ф300mm先進封裝厚膠膜製程。

       芯源公司在上海設有辦事處，配備了快速響應的銷售和技術服務團隊，產品已銷往國內多家客戶。

 

業務領域：

1． 單晶圓處理設備的研發、生產、銷售與服務。

2． 零部件銷售、二手設備翻新、系統技術服務。

3． 半導體領域產品代理銷售。