美國AE FC-7700CD質量流量控制器

型號：	FC-7700
品牌：	美國AE(Advanced Energy)
原產地：	中國
類別：	電子、電力 / 儀器、儀表 / 流量儀表
標籤︰	MFC , 質量流量計 , 流量控制器
單價：	-
最少訂量：	1 件

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產品描述

作為針對各種應用的業界公認標準，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供精確的流量控制，同時具備彈性密封的經濟優勢。對於半導體、平板顯示器、數據儲存、工業真空、及工業塗層的工藝及裝備工程師，這一系列提供針對非腐蝕性氣體應用（包括 CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝）的高度可靠性和出色的性能。

優勢	特點
快速響應——設置點之間的流量沉澱時間不到2秒無與倫比的可靠性——一年零漂移不到滿標度流量的0.5% 易於整合——標準連接器和尺寸出色的效果——優質薄膜特性	彈性密封 VCR^® , VCO^®, 及 Swagelok^® 共容的連接滿標度流量範圍為10 sccm - 200 slm 常關或常開的電磁控制閥最大的淨化模式流量——校準后最多100次洩漏率為1x10^-6 atm-cc/sec of He

性價比高
FC-7700系列產品專為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定製，不僅性價比好，而且控制精度非常高。

響應速度快

FC-7700系列產品採用最新技術設計，工作性能遠遠優于同類質量流量控制器MFC.其先進之處包括：採用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外，與採用低速熱敏閥的同類產品相比，FC-7700系列產品採用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應速度。提高響應速度之後，避免了出現過沖，達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是最快的。

無與倫比的可靠性
由高質量的電子組件和採用耐用、最少元器件的設計理念，這使它可以經受強射頻場的干擾，滿足其它運轉要求，並具有同類產品中最佳的零點漂移穩定性--使用超過一年，零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產品中，僅有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。

易於集成
替換其它品牌，即可輕鬆獲得Area質量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優勢，且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭並具有臨界尺寸，可輕鬆裝入現有的系統。

出從的效果
FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時還有高度的可重複性。

型號參數：

類別	FC-7700、7700C、7700CD、7700CU	FC-7710、7710C、7710CD、7710CU	FC-7720、7720C、7720CD
滿量程範圍	10sccm到5slm	6到20slm	35到150slm
		20到50slm
響應時間	到達設定點±2%所需時間<2秒		到達設定點±2%所需時間<3秒
精度	滿量程±1%範圍內	滿量程±2%範圍內
線性度	滿量程±0.5%範圍內	滿量程±0.5%範圍內	滿量程±1%範圍內
		滿量程±1%範圍內
重複精度	滿量程±0.2%範圍內
漏率	最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
控制範圍	滿量程的5到100%
壓差	7至40 psi	10至40 psi(517至2069托)	21至40 psi(1086至2069托)
	(362至2069托)	14至40 psi(724至2069托)
正常工作壓力	50 psi(2586托)
最大入口壓力	最大值150 psi(7740托)
溫度範圍	5至45℃