美國AE Pinnacle直流電源|磁控濺射電源

產品描述

業界公認的 Pinnacle® 直流電源平台具有絕佳的工藝一致性和控制功能，從而大大減少了工藝變化，提高了產量。這個緊湊、功能強大的套件提供了業界最低的存儲能量、最快的弧反應以及最廣的全功率運行阻抗範圍。

優勢:

●最低的運行和安裝成本

●業界最快的弧反應時間

●可配置的弧反應參數

●最大的工藝效率

●精確的工藝控制

特點:

●最低的存儲能量——每千瓦輸出不到 1mJ

●無需調節輸出變壓器

●4:1的阻抗範圍

●靶材處理時間——最大限度地縮短新靶材的處理時間

●±0.1%的輸出重複性

●Joule 模式——最優化的能量傳送.

規格：

●輸入電壓：200/208、400或480VAC（±10%）、3Φ4線、50/60kHz

●功率因素：負荷＞90%

●輸出電壓：低Z、標準Z或高Z

●輸出極性：浮動默認值，具有正和負功能

●輸出波紋電壓：與輸入線頻有關，輸出波紋電壓分量＜5%RMS

●輸出功率重複精度：0.1%，從設計功率到10%到100%。

●負荷調整：±1%，輸出阻抗範圍的V-1限值內4﹕1的負荷變化

●溫度係數：＞20℃至40℃的環境溫度範圍內調整輸出參數變化＜0.005%/℃

●模擬接口選項：37針絕緣，0至10VDC模擬。0/24VDC數字

37針，0至10VDC模擬，0/15VDC數字

37針，0至5VDC模擬，0/15VDC數字

●串行通信選項：RS-232，RS-422，RS-485（可選波特率高達57.6K）

AE Bus 協議

ASCⅡ協議（MDX和仿真）

Profibus（可選波特1.5或12MB）AE Bus協議

具有DeviceNet®選項

●輸出功率接頭：三個終端、多個觸點、可插入式接頭、UHF、軍用附件或接線環

●輸入功率接頭：五個終端，DIN壓縮接頭

尺寸：133×483×639mm（高×寬×長）

●重量：29.5kg

Pinnacle® 6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW