FTS Intra型粗糙度輪廓儀是英國泰勒霍普森有限公司在標準計量室產品Form Talysurf系列的基礎上開發的。適用於生產現場和計量室使用。其前身產品型號為FTS Plus。
FTS Intra的驅動箱和傳感器的性能與標準計量室使用的Form Talysurf系列中的S3C型相同。區別是控制和數據分析部分。Form Talysurf系列採用計算機控制分析。FTS Intra採用PDA控制處理器,為觸摸式屏幕。可顯示控制菜單和分析結果(圖形和參數)等。控制分析單元對驅動單元可連線控制,也可紅外遙控。
FTS Intra也可以配置計算機,測量的數據直接傳輸至計算機,由Ultra軟件對儀器進行控制及對測量數據的分析。
1. 掃描箱
(1) 測量長度: 0.1mm-50mm
(2) 驅動: 使用控制處理器
(3) 直線度: 0.2µm/20mm,0.4µm/50mm
(4) 測量速度: 1.0mm/秒
2. 傳感器
(1) 類型: 電感
(2) 測量量程: 1mm (同時測量粗糙度和輪廓,使用60mm長測杆)
(3) 分辨率: 0.2mm量程時3.2nm
(4) 量程與分辨率之比: 65,536:1
(5) 測量力: 0.7-1mN
3. 寬範圍傳感器(輪廓測量)
(1) 類型: 電感
(2) 測量量程: 28mm(實際標定範圍9mm)
(3) 分辨率: 28mm量程時426nm
(4) 範圍/分辨率: 65,536:1
4. 標定球
(1) 種類: 12.5mm半徑(112/2062)、22mm半徑(112/1844)兩種。根據不同傳
感器和測頭選擇
(2) 標定內容: 可檢查測針針尖的尺寸和形狀,標定傳感器的全量程和線性度,
修正測針弧形運動而產生的誤差等
5. 評定參數
(1) 粗糙度參數: Ra、Rq、Rp、Rv、Rt、Rsk、Rku、Rz、Rz(JIS)、Rpm、R3y、R3z、RS、RSm、RDela、Rlamq、RDelq、Rvo、RPc、RHSC、Rmr、Rdc
(2) 波紋度參數: Wa、Wq、Wp、Wv、Wt、Wsk、Wku、Wz、WLamq、WDelq、WDela、WS、WSrm、Ln、Wc、Wlo、WVo、WPc、WHSC、Wmr、Wdc
(3) 未濾波參數: Pa、Pq、Pv、Pt、Psk、Pp、Pku、Pz(JIS)、PLamq、PDelq、PS、PSm、Pz、Pdela、Ln、PLo、Pc、PVo、PPc、PHSC、Pmr、Pdc
(4) Rk參數: Rk、Mrl、Mr2、Rpk、Rvk、A1、A2
(5) 輪廓功能: 半徑和角度Slope(指被測直線與水平測量基準的夾角)
6. Ultra Contour專用輪廓分析軟件(112/3170-01)
(1) 測量數據的過濾、調平、旋轉、放大或縮小
(2) 無理論模板圖形時,根據測量數據手動建立直線或圓弧等幾何要素
(3) 有理論模板圖形時,根據模板自動建立直線或圓弧等幾何要素
(4) 尺寸標註:半徑、兩圓心中心距、X方向尺寸、Z方向尺寸、斜邊尺寸、兩直線之間的夾角、圓弧最高或最低點、直線的中點、求交點、尺寸標註線格式、加標記等
(5) 比較功能:實測數據與理論模板數據可進行比較。理論模板圖形(DXF格式)可以來自CAD文件,也可以由用戶通過測量樣板零件之後建立。在理論模板圖形上,可對不同數據段定義不同的公差帶,可得到測量輪廓上各點與理論圖形的誤差以及是否超出公差帶。
注1:選購該軟件必須選擇帶計算機的機型。
7. 精度
(1) 球標定的不確定度: 不大於0.25µm (60mm長測杆)
(2) 表面粗糙度參數的不確定度: 2%+4nm (僅適用於峰值參數)
(3) 半徑測量的不確定度: 0.1-12.5mm半徑時,名義值的2-0.04%
12.5-28mm半徑時,名義值的0.04%
28-1000mm半徑時,名義值的0.04-0.2%
(4) 角度測量的不確定度: 名義值的3% (Ra £ 0.1µm)