一、概 述

    NU.ER.T.(Sure1015)系列微小流量流量計是一種採用渦輪原理設計專門測量微小流量的專用流量計，它具有極高的精度，特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈衝發生器也集成在流量計內，在長期連續工作的條件下也能保持±1%的精度和±0.25%的重複性。由於靈巧的結構設計，在工作時不會形成沉澱，所以儀表的工作完成是“潔淨”的。因此，即使是極為苛刻的要求，例如半導體集成電路和芯片的生產流程中使用的刻蝕劑，具有極強的耐腐蝕性，並如有一個極微小的顆粒落下，也會使芯片成為廢品，這些NU.ER.T.產品都能滿足。