非晶硅太陽能電池是利用PECVD方法在ITO玻璃基片上沉積了三層非晶硅形成PIN結，然後一些相應的后工序製造形成非晶硅太陽能電池。
非晶硅太陽能電池對光的頻譜響應曲線和人眼相似，其峰值響應所對應的光的波長在600nm左右。特別適合可見光尤其是在熒光燈工作。
在製造過程中可以根據客戶在要求（一般是根據客戶提供的負載參數如負載的大小、負載所需的工作電壓、電流）確定電池單元的面積和串聯數目