超聲清洗機

超聲清洗機
型號:NXXD-SH-04R
品牌:南軒
原產地:中國
類別:電子、電力 / 其它電力、電子
標籤︰硅片清洗 , 硅片腐蝕 , 硅片去膠
單價: ¥110000 / 件
最少訂量:1 件

產品描述


1、設備名稱和型號


1.1設備名稱:晶片研磨后清洗機


1.2設備型號:NXXD-4SH-06A


2、設備用途:


     用於清洗去除研磨后晶片表面上的金剛砂,AL2O3SIC,金屬離子(NA+SI+K+AL3+)等。


3、設備能力和清洗硅片尺寸


3.1 晶片尺寸:3″、4″圓片及20×30方片


3.2 處理3″、4″晶片數:50片/2花籃(PFA花籃),一批


3.3處理20×30方片數:100片/4花籃(PFA花籃),一批


3.4 處理頻率:1批10分鐘(標準)


 


4、設備各部分主要技術參數


4.1整機


²        尺寸(參考):2000mm(L)×1200mm(W)×1800mm(H);


²        主要材料:優質磁白10mmPP板,優質不鏽鋼骨架;


²        台面板為10mm洞洞板;


²        DIW管路及構件採用國產優質PP管材,需滿足10--15MW去離子水水質要求;


²        碱管路採用PFA管;


²        附件:1把水槍,1把氣槍;


²        設備頂部裝有照明燈;


4.2純水(DIW)快排槽(1、3、5#)


²        數   量    3套;


²        內槽尺寸    370(長)×280mm(寬)×230mm(高)      


²        槽體容量    22


²        工作溫度    室溫


²        槽體材料    N PP材料熱彎/焊接組合加工而成,配蓋


²        清洗方式    上噴淋,下注水


²        注入時間    0-9999秒,可設置


²        快排參數    0-9999秒,可設置,1-99次


²        排液方式    重力排液,排液時間 < 5秒鐘


4.3 NaOH藥液清洗槽(2、4#)


²        數   量    2套;


²        內槽尺寸    370(長)×280mm(寬)×300mm(高)  


²        槽體容量    26


²        工作溫度    室溫----50℃,可設置,精度±2℃


²        槽體材料    PVDF或SUS316熱彎/焊接組合加工而成


²        超聲系統    功率2KW,頻率40KHz


²        排液方式    重力排液


²        加熱方式    內置式加熱管,配溫度傳感器和液位傳感器。槽內有N2鼓泡功能,使


槽內液體溫度加熱均勻,加熱器功率為2.0KW


4.4 溢流槽(6#)


²        數   量    1套;


²        內槽尺寸    370(長)×280mm(寬)×230mm(高)  


²        槽體容量    22


²        工作溫度    室溫


²        槽體材料    NPP材料熱彎/焊接組合加工而成


²        清洗方式    下注水+氮氣股泡


²        注入時間    0-9999秒,可設置


²        排液方式    重力排液,排液時間 < 5秒鐘


²        槽體設有掏渣口,槽體底部設有NPP材質3--4¢洞洞過濾板,防止碎硅料堵塞管路;


²        配手動透明PVC材質蓋,防止停機時污染;

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會員信息

北京南軒興達電子科技有限公司
國家/地區︰北京市通州区
經營性質︰生產商
聯繫電話︰13910624928
聯繫人︰軒轅云喜 (銷售主管)
最後上線︰2021/08/09